Gyroskope
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MEMS Oscillators Spread Their Wings
Microelectromechanical system (MEMS) technology is leveraging established process advantages afforded by silicon process technology – low cost, precise operation, small size, among others – to replace older technology in numerous devices: pressure sensors, temperature sensors, accelerometers, gyroscopes, even gas detectors and chemical analyzers. You can even add precision clock generators to that expanding list.
Entwicklung einer Rückkopplungsunterdrückung mit geringem Rauschen durch MEMS-Gyroskope
MEMS-Gyroskope bieten eine einfache Methode der Messung der Drehrate bzw. Winkelgeschwindigkeit. Sie sind in einem Gehäuse untergebracht, das problemlos an Leiterplatten angebracht werden kann, und werden deshalb häufig als Feedback-Sensorelemente in vielen verschiedenen Typen von Bewegungssteuerungssystemen eingesetzt.